10L立式反应釜(釜盖电动升降釜体电动翻转)

10L立式反应釜(釜盖电动升降釜体电动翻转)是一款应用于各大工艺过程模拟以及产业流程化模拟的小试或者中试的小型高压反应设备。该釜的形式是电动釜盖升降，电动釜体翻转，方便前端进料、后端处理，方便设备拆卸和出料。控制系统可PLC集成，实现实现过程的自动化或半自动化，设备可设置记录显示温度、压力、转速、计时等功能，并配备数据导出功能自动生成温度、压力、时间等关联曲线。釜内配置晶圆填料框，适用于半导体晶圆芯片耐压耐温测试试验。