（1）产品简介
VMB阀门分配箱，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维。除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气。
（2）基础配置
■尾气排放功能;
■具备一个预留扩充点
■气体分配柜的负压应持续监控。
■防爆外柜，烤漆或不锈钢外壳包覆
■紧急切断功能,风压事故报警功能等
■为保证安全，所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌
■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳
■带外吹扫、带抽真空，自动紧急远程切断、事故报警，泄漏报警对接，通风出口等
■每个stick 可配置：手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表，压力传感器、减压阀，单向阀，过滤器、安全阀等
（3）适用气体
易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
（4）适用行业
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校实验室等
VMP高纯气体阀门盘
（1）产品说明
特气分配面板就是具有多个分支出口且每个分支出口上都设有阀门的能将主管道中的液体或气体分流到各分支出口的管路构件。目前的管路分流器，其分流管与各分路球阀都是利用螺口连接的。
（2）结构特点
■ 配安全阀
■ 特气系列减压器
■ 金属膜片减压结构
■ 面板式整体结构便于安装
■ 2”不锈钢压力表，读数清晰
■ 专为实验室气站及气瓶柜设计
■ 硬密封结构，避免材质老化污染
■ 减压器及管路经耐压测试和泄漏测试
■ 所有膜片阀旋钮带“开启/关闭”指示窗
■ 阀组采用焊接与FSR结构连接，大幅减少泄漏点
■ 主体采用316L不锈钢材质，更适合于实验室特气
■ 针对有害，燃烧性气体备有排放并接型结构供选择
■ 可选用报警信号压力表结构，供气欠压提供报警信号
■ 采用膜片阀控制，流道简洁，操作可靠，使用寿命长
（3）适用气体
主要应用于惰性气体或普通气体，诸如He、Ar、Ne、Kr、Xe、N2、O2等
（4）应用行业
适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
VMB阀门控制箱
（1）产品简介
VMB阀门分配箱，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维。除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气
（2）基础配置
■尾气排放功能;
■具备一个预留扩充点
■气体分配柜的负压应持续监控。
■防爆外柜，烤漆或不锈钢外壳包覆
■紧急切断功能,风压事故报警功能等
■为保证安全，所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌
■符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳
■带外吹扫、带抽真空，自动紧急远程切断、事故报警，泄漏报警对接，通风出口等
■每个stick 可配置：手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表，压力传感器、减压阀，单向阀，过滤器、安全阀等
（3）适用气体
易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等
（4）适用行业
LED，研究所，高校实验室等